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碳化硅(SiC)缘何成为第三代半导体**重要的材料?
在半导体行业中,高纯石墨主要是作为加热器、支撑坩埚、隔热罩等存,采用高纯石墨做这些部件也是充分利用了高纯石墨耐高温这一特点。尤其是在SiC晶体生长的过程,石墨中的杂质更是晶体品质优劣的关键决定因素,我司石墨纯度可达到5PPMW以下,满足客户生产环境中对石墨高纯度的需求。
等静压石墨的典型特性:
极高的耐热性和耐化学性
优异的抗热震性
高导电性
高导热性
随温度升高强度增加
易于加工
可以以非常高的纯度生产 < 5 ppm