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种多通道高精密LCR测试系统 本发明涉及LCR测试技术领域,公开了一种多通道高精密LCR测试系统,包括与待测产品连接的若干结构相同的的扫描卡、以及与扫描卡相对设置的测量卡,若干所述扫描卡和测量卡通过背部连接板连接,所述扫描卡用于实现通道切换,所述测量卡用于实现LCR测试,所述背部连接板用于实现信号的转接,所述背部连接板连接有主控板,所述主控板用于实现对测量卡以及扫描卡的信号控制。

探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。中文名探针台外文名Probestationchuck尺寸100mm～300mm针座摆放个数2～8颗适用领域4寸～12寸Wafer，如晶圆厂、LED探针台从操作上来区分有：手动，半自动，全自动

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