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爱德华真空泵维修：真空容积，检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。
泵系列
Edwards 获得的螺旋转子设计 针对高可用性而设计，它提供的抽取速度，并且是先进的热 管理系统的一部分，可以程度地提高泵性能并延长密封、轴承和 电机的使用寿命，以确保泵具有长的使用寿命。
GXS160
GXS160/1750
GXS250
GXS250/2600
GXS450
GXS450/2600
GXS450/4200
GXS750
GXS750/2600
GXS750/4200
EPX 180真空干泵
EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。
EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获的单轴再生 Holweck? 分级机构， 能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。
EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，又可以远程 安装。此外，通过集成的 MicroTIM 电子模块还可以与制程工具 轻松建立接。
泵系列
EPX180L、LE、N、NE
EPX180 TwinL、LE、N、NE
EPX500L、LE、N、NE
螺杆真空泵是利用一对相互啮合的螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因此泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及粉尘的气体场合。
真空泵维修是的真空设备供应商，在工业、制药、化工、科研、加工、玻璃镀膜、食品包装行业以及广泛的研发应用的真空技术占有领导地位。日本Seiko Seiki曾是清洁和干燥真空技术的，STP系列磁悬浮分子泵1983年在全世界范围内开始广泛销售，如今被Edwards收购。
