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半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气，高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延，掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合，可分为电子级，LSI（大规模集成电路）级，VLSI（超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路）级。
近几年来，智研数据研究中心随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展，电子气体市场需求量明显增长，电子特种气体的国产化已是大势所趋。据了解，我国在国产化方面取得可喜进展：国产高纯氨改变了国外气体公司垄断市场的格局，高纯四氟化碳“有价无货”时代也宣告结束，高纯已成功打开。
电子气体主要包括：、、乙、化氢、硒化氢、、四氟化碳、化三氢、、三氯化硼、三氟甲烷、三氟化氮、、六、六氟化钨、六氟化硫、、磷烷、、、气、氨气、电子级等.
其中六氟化硫、电子级、、磷烷使用较多。
氦气是惰性气体，无毒，性质也不活泼，对人体无害。但是大量吸入会导致窒息甚至！氦气毕竟不是氧气，过多吸入氦气会导致人体缺氧，轻者会感觉疲惫，重者可能会顿时眼前发黑直接窒息昏迷！更有甚者不是通过气球来吸入氦气，如果是由高压气瓶中直接吸入高纯氦气，那么其高流速就会严重地破坏肺部组织，直接对人体造成伤害！
氦气高浓度时，使氧分降低而发生窒息。氦浓度达到50%以上引起严状；呼吸加速，注意力 不集中，疲倦乏力，恶心、呕吐。75%以上时可在数分钟内。
厂家分享气体混合物的典型用途用于。一种混于空气中的低浓度被用于肺的扩散实验。氧气与不同百分含量的二氧化碳的混合物，可用于血液分析气体分析器的校准。、氧化亚氮和某些化学性质活泼的气体，能单独和作为混合物用来作用。
用于核技数。0.95%异丁烷与氦的混合物和1.3%的丁烷与氦的混合物都被人们用来作盖格计数管用气体。0.4%异丁烷与氦的混合气和10%的甲烷与的混合物都用作比例计数器用气体。
用于电子元件的制造。含微量掺杂物化三氢，或等的气体。例如：氢气、氦气、气或氮气等气体，用来制造硅半导体。高度净化的氨的混合物用来作渗氮用。，无论是纯的还是在混合物中都可用于硅的沉积。和上述混合气之一相似的混合气体、若化三氢和的含量高，通常用来制造稼半导体。
揭秘气体传感器的工作原理催化燃烧式传感器
它根据惠斯通电桥这个原理，环境中的可燃气体跟感应电阻发生无焰燃烧的反应，温度的变化会引起感应电阻值的变化，这样就可以打破电桥平衡，使它可以输出稳定的电流信号，然后通过电路的放大、稳定以及处理，后就可以得到可靠的结果了。
金属氧化物半导体式传感器
它是根据待测气体的吸附作用，使半导体的电导率发生变化，经过对电流的变化进行比较，就可以激发报警电路。而它在工作的时候，环境对它的测量影响比较大，因此输出的线性会不稳定。因为这种气体传感器的反应很灵敏，所以现在它一般测量气体的微漏现象。