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对于真空镀膜机设备而言，真空泵是获得真空环境不可缺少的一部分，制造商每次制造真空镀膜设备时都会搭配一个或多个真空泵。
真空镀膜机在选择如何选择真空泵时，应注意以下事项：
1.真空泵的工作压力必须满足真空设备的极限真空和工作压力要求。
2.正确地选择真空泵的工作压力。每种泵都有一定的工作压强范围,
3.真空泵在工作压力下，应能排出真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
4.真空泵的正确组合有选择性吸入，所以有时选择一种泵也不能满足进气要求，必须与几种泵结合，互相补充，才能满足进气要求。
真空镀膜设备三大保养技巧
当阀泵连续工作一个月之后，为保持设备的正常运转我们需要更换油。将泵启动，拧开放油螺栓，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，观察油视镜倒入新油加到一定额度，平常换油时应将油盖打开，有需要时用布擦干净箱内污垢。
扩散泵连续使用6个月以上，抽的速度会显然变慢，当操作不当应拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，先用将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。在重新开机前，要注意检漏工作。
真空镀膜机的原理
真空主体——真空室根据加工产品的要求差异，大小也不一。目前应用的真空室有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等。燃烧室由不锈钢制成，不需要生锈、坚固等。真空室的所有部分都设有连接阀，用于连接各种泵。
辅助抽气系统：排气系统是真空镀膜机的重要组成部分，主要由机械泵、增压泵(主要引入罗茨泵)和油扩散泵组成。排气系统由“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。机械泵首先将真空室抽入小于2.0 * 10-2 pa 的低真空状态，为扩散泵的后续真空抽吸提供了前提，然后在扩散泵的真空室抽吸时，机械泵与油扩散泵串联，完成抽吸作用。
