洁净室的发展与现代工业、技术密切联系在一起。由于精密机械工业(如陀螺仪、微型轴承等加工)、半导体工业(如大规模集成电路生产)等对环境的要求,促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过,在无洁净级别的要求的环境下生产MOS电路管芯的合格率仅10%~15%,64位储存器仅2%。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。
承担洁净厂房工程的施工企业,应具有相应工程施工的资质及其等级,并应具有完善的质量管理体系。
洁净厂房的施工应按设计文件、合约的内容实施。当修改设计时,应经原设计单位的确认、签证,并得到建设单位的同意。
洁净厂房施工前应根据具体工程项目的特点,制订施工方案和程序,做到各工种协调施工、阶段明确、交接清楚,确保整体施工质量和安全操作。
洁净厂房装修墙、柱、顶涂装工程
涂装工程应符合下列要求:
(1) 涂料颜色应符合设计的要求;
(2) 水性涂料涂饰工程施工不宜在阴雨天施工,环境温度应控制在10~35℃;
(3) 涂装前确认基层已硬化、干燥,并符合本规范4.2.5条的规定;
(4) 涂装层应涂饰均匀、粘结牢固,不得漏涂、透底、起皮、起泡、流坠和裂缝。
洁净厂房中排风管道的制作,应符合下列规定:
(1) 可燃、有毒的排风风管的密封垫料、固定材料应采用不燃材料;
(2) 风管所用螺栓、螺母、垫圈和铆钉均应采用与管材性能相适应,并不产生电化学腐蚀的材料;
(3) 镀锌钢板不得有镀锌层严重损坏的现象,如表层大面积白花、镀层粉化等;
(4) 风管法兰的螺栓及铆钉孔的间距,不应大于100mm;矩形风管法兰的四角部位应设有螺孔。